濟(jì)南中烏利用HPHT法和CVD法實(shí)現(xiàn)大尺寸金剛石單晶的生長。金剛石被稱為“終極半導(dǎo)體”材料,主要采取高溫高壓(HPHT)法和化學(xué)氣相沉積(CVD)法生長,目前材料尺寸是限制金剛石及其應(yīng)用的瓶頸之一。
濟(jì)南中烏新材料有限公司通過改進(jìn)六面頂壓機(jī)和優(yōu)化HPHT生長工藝,實(shí)現(xiàn)了最大粒徑11.48mm大尺寸金剛石單晶的生長。
HPHT法大尺寸金剛石單晶濟(jì)南中烏新材料有限公司通過承擔(dān)山東省自然科學(xué)基金項(xiàng)目重大基礎(chǔ)研究課題,于2018年引進(jìn)金剛石MPCVD設(shè)備,通過技術(shù)攻關(guān)利用馬賽克拼接法實(shí)現(xiàn)了12.2mm大尺寸金剛石單晶的生長,填補(bǔ)了省內(nèi)空白,為金剛石半導(dǎo)體的研發(fā)提供了基礎(chǔ)保證。CVD法大尺寸金剛石單晶